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該技術(shu)通(tong)過特定波(bo)長的UV激發光源產生不同能量的光量子；廢氣物質對該光量子的強烈吸收，在大量攜能光量子的轟擊下使廢氣物質分子解離和激發；空氣中的氧氣和水分及外加的臭氧在該光量子的分解作用下可產生大量的新生態氫、活性游離氧和羥基氧等活性基團；因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧，臭氧對紫外線光束照射分解后的有機物具有極強的氧化作用；部分廢氣物質也能與活性基團反應，最終降解轉化為低分子化合物、CO2和H2O 等無害物質，從而達到凈化廢氣的目的。
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